Stroj za centrifugiranje

Vmesnofrekvenčno razprševanje je tudi neke vrste magnetronsko razprševanje.

Obstaja veliko vrst magnetronskega razprševanja, ki jih lahko glede na uporabljen vir energije razdelimo na magnetronsko razprševanje z enosmernim tokom, radiofrekvenčno magnetronsko razprševanje in vmesnofrekvenčno magnetronsko razprševanje. Napajalnik, ki se uporablja pri enosmernem magnetronskem razprševanju, je enosmerni visokonapetostni napajalnik, običajno 300-1000 V, za katerega so značilni hitra hitrost razprševanja, nizki stroški in poceni vzdrževanje v kasnejšem obdobju. Vendar pa je mogoče razpršiti samo kovinske tarče. Če je tarča izolator, bo med napredovanjem razprševanja tarča akumulirala veliko količino naboja, kar bo povzročilo nezmožnost nadaljevanja razprševanja. Zato se za kovinske tarče običajno uporablja DC magnetronsko razprševanje. Zaradi nizkih stroškov in enostavne strukture se pogosto uporablja v industriji. Frekvenca RF napajanja, ki se uporablja pri RF magnetronskem razprševanju, je običajno 13,56 MHz, kar lahko reši težavo, da DC magnetronsko razprševanje ne more razpršiti izolacijskih tarč. Značilnosti RF magnetronskega naprševanja so: napršiti je mogoče tako izolacijske tarče kot kovinske tarče in oprijem med filmom in podlago je močan. Vendar pa zaradi zapletene strukture in naprave, visoke cene RF napajalnika, visokih stroškov vzdrževanja, sevanja za človeško telo in potrebe po zunanjem ujemajočem se omrežju ni primeren za industrijsko proizvodnjo. Vmesnofrekvenčno magnetronsko razprševanje se pogosto uporablja za reaktivno razprševanje za pripravo filmov kovinskih spojin. Poleg argona se v votlino doda majhna količina reaktivnih plinov, kot so dušik, kisik itd., da se molekule teh reaktivnih plinov odložijo z atomi tarčnega materiala. na substrat, da tvori film kovinske spojine. Ker se magnetronsko razprševanje z enosmernim tokom pogosto uporablja v industriji, magnetronska razpršilna miza vključuje vakuumski sistem, sistem za naprševanje, plin in krmilni sistem.

Aplikacija

Parameter

Naše podjetje

Priljubljena oznake: stroj za centrifugiranje, Kitajska, dobavitelji, proizvajalci, tovarna, po meri, nakup, cena, ponudba