PVD stroj za pozlačevanje

Magnetronsko reaktivno razprševanje izolatorjev se zdi enostavno, vendar je dejansko delovanje težko. Glavna težava je, da se reakcija ne pojavi le na površini dela, temveč tudi na anodi, površini vakuumske komore in površini ciljni vir. S tem povzroči gašenje požara, vir tarče in oblok na površini obdelovanca itd. Tehnologija dvojnega tarčnega vira, ki jo je izumil Leybold v Nemčiji, zelo dobro rešuje ta problem. Načelo je, da sta par ciljnih virov katoda in anoda drug drugemu, s čimer se odpravi oksidacija ali nitridacija površine anode.

Hlajenje je potrebno za vse vire (magnetron, večločnik, ioni), saj se velik del energije pretvori v toploto. Če hlajenja ni ali je hlajenje nezadostno, bo zaradi te toplote temperatura ciljnega vira dosegla več kot 1,000 stopinj in stopila celoten ciljni vir. .

Magnetronska oprema je pogosto zelo draga, vendar je enostavno porabiti denar za drugo opremo, kot je vakuumska črpalka, MFC, merjenje debeline filma in zanemariti ciljni vir. Ne glede na to, kako dobra je oprema za magnetronsko razprševanje brez dobrega izvora tarče, je kot risanje zmaja brez končnega dotika.

Prednost uporabe srednjefrekvenčnega naprševanja je, da je lahko gladko in gosto. Trdota plasti filma je visoka. Debelina filma lahko raste linearno. Brez zastrupitve. Razprševanje z več obloki v vakuumski peči uporablja majhno napetost in velik tok na tarčo, da ionizira material (pozitivno nabite delce), s čimer udari substrat (negativno nabite) z veliko hitrostjo in nanese ter tvori gost film in trd film. . Uporablja se predvsem za folije, odporne proti obrabi in koroziji. Pomanjkljivost je, da pozitivni in negativni električni sunki povzročijo neenakomeren film, luknje in ablacijo.

Načelo vmesnofrekvenčnega razprševanja je enako kot pri splošnem enosmernem razprševanju. Razlika je v tem, da DC razprševanje uporablja valj kot anodo, medtem ko je srednjefrekvenčno razprševanje v paru. Ali valj sodeluje, je odvisno od celotne zasnove in celotnega sistema. V procesu naprševanja je razporeditev anode in katode povezana in obstaja veliko načinov za sodelovanje v ciklu razmerja. Z različnimi metodami lahko dosežemo različne izkoristke razprševanja in različne gostote ionov. Glavna tehnologija vmesnega frekvenčnega razprševanja je v načrtovanju in uporabi napajalnika. Trenutno sta dve metodi oddajanja sinusnega in kvadratnega pulza bolj zreli. Vsak ima svoje prednosti in slabosti. Najprej moramo razmisliti o vrsti filma in analizirati, kateri način izhodne moči je primeren za kateri film. Za dosego želenega izhoda lahko uporabite značilnosti napajalnika. filmski učinek.

Aplikacija

Parameter

Naše podjetje

Priljubljena oznake: stroj za pvd pozlačevanje, Kitajska, dobavitelji, proizvajalci, tovarna, po meri, nakup, cena, ponudba