Rezalna orodja Stroj za vakuumsko nanašanje trdih premazov

Učinek magnetnih polj

Neenakomernost magnetnega polja bo poslabšala enakomernost filma. Osnovno načelo magnetronskega razprševanja je razširiti trajektorijo elektronov skozi magnetno polje in čim bolj trčiti z atomi argona. Na mestu, kjer je magnetno polje močno, nastane več Ar plus ionov in obstreljevanja Tam je več atomov ciljnega materiala in plast filma na substratu je debelejša. Nasprotno, kjer je magnetno polje šibko, je plast filma tanjša. Očitno bo moč magnetnega polja vplivala tudi na hitrost nanašanja, stopnja nanašanja je visoka, ko je magnetno polje močno, in obratno, stopnja nanašanja je nizka.

Vpliv temperature in čistoče podlage

Ustrezna temperatura podlage lahko izboljša oprijem in hitrost nanašanja filma, kar zahteva raziskovanje specifične temperature glede na različne cilje. Čistoča podlage ima velik vpliv na oprijem med podlago in filmom, zato je zelo pomembno, da dobro očistite podlago in vakuumsko komoro.

Aplikacija

Parameter

Naše podjetje

Priljubljena oznake: stroj za vakuumsko nanašanje rezalnih orodij, Kitajska, dobavitelji, proizvajalci, tovarna, po meri, nakup, cena, ponudba